환경부는 한국수자원공사 및 한국환경산업기술원과 함께 반도체용 초순수 생산기술 국산화를 위한 첫걸음으로 ‘고순도 공업용수(초순수) 실증플랜트 착공식’을 11.16.(화) 오후 에스케이(SK)실트론 생산공장에서 개최했다고 밝혔다. - 초순수(Ultra Pure Water)는 초미세회로(nano meter, 10-9m)로 구성된 반도체 표면에서 각종 부산물, 오염물 등을 세척하는데 사용되는 필수 공업용수임. - 이번 실증플랜트는 초순수 생산기술을 신속하게 개발하고 성능을 확인할 수 있도록 반도체 소재 생산기업인 에스케이실트론 공장 내에 설치하여, 해외기술과 국내기술을 비교하고 실제 초순수를 공급해 관련 기술의 실적을 확보한다는 의미가 있음. - 한국수자원공사와 연구개발 참여기업은 ’25년까지 하루 2,400톤의 초순수를 생산하는 실증플랜트를 설치·운영하여, 관련 생산공정의 설계·운영 기술 100%, 시공 기술 및 핵심기자재 60% 국산화를 목표로 하고 있음. - 한편, 지난 5월, 정부는 ’30년까지 510조 이상의 투자를 통해 반도체 제조 기술의 초격차를 이어가 종합반도체 강국으로 도약하기 위한 ‘한국형(K) 반도체 전략’을 발표한 바 있음. - 환경부도 이 전략의 하나로, 반도체용 초순수 생산기술의 국산화를 추진하고 있어, 일본기업이 주도하고 있는 초순수 시장에 국내기업이 진출하는 발판이 마련될 것으로 기대됨. <붙임> 1. 고순도 공업용수 실증플랜트 착공식 행사(안) 2. 고순도 공업용수 생산공정 국산화 기술개발사업 개요 3. 초순수 개요 및 생산공정
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