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정책자료

첨단 반도체 공정 서비스를 인공지능과 데이터기반으로 제공한다
과학기술정보통신부 연구개발정책실 기초원천연구정책관 융합기술과 2022.07.20 3p 보도자료

과학기술정보통신부는 7.20(수) “공공 나노팹 운영 혁신 자문위원회”를 개최하면서, ’22년 신규사업으로 ‘인공지능·데이터 기반 나노팹 공정 스마트 서비스’ 구축을 추진한다고 밝혔다. - 그간 나노종합기술원 등 서비스 데이터를 축적하여 활용할 수 있는 기반이 없어 공정 경험을 축적하고 활용하는 체계적 서비스 운영에 한계가 있었음. - 이를 해결하기 위해 관리되던 공정과 장비 데이터를 빅데이터화하고, 장비 간 데이터를 유기적으로 연계하는 등 인공지능(AI) 기반의 나노팹 스마트 운영서비스를 구축할 예정 - 이번 사업은 ▲나노팹의 스마트화를 통한 기능과 서비스 고도화와 ▲나노팹 공정데이터의 빅데이터화와 인공지능을 활용한 디지털화로 이루어짐. - (나노팹의 스마트화를 통한 기능과 서비스 고도화) 데이터 기반의 연구 지원체계를 구축하여 공정서비스 시간을 최소화하고 인력공백으로 인한 공정서비스 단절을 극복하며 나노팹 지원체계의 효율화와 효과성을 강화함. - (나노팹 공정데이터의 빅데이터화와 인공지능을 활용한 디지털화) 데이터와 인공지능을 활용한 공정검증, 공정·장비 데이터의 공공화로 연구개발에 소요되는 시간과 비용을 줄이는 등 나노팹의 공정데이터 활용체계를 극대화 - 이번 사업을 통해 나노·반도체 분야 연구개발 생태계의 디지털화와 산업화 촉진에 이바지할 것으로 기대 <붙임> 인공지능·데이터 기반 나노팹 공정 스마트 서비스 사업 개요

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