반도체, 디스플레이 장비.재료 분야 차세대 기술개발을 위한 대형 R&D 인프라인 나노기술집적센터가 6월부터 본격적인 서비스를 시작한다. 산업자원부가 포항.광주.전북 등 3곳에 구축중인 나노센터는 반도체, 디스플레이 장비.재료의 차세대 신기술 개발→상용화→성능평가.표준화를 패키지로 지원하는 핵심 나노기술 인프라 역할을 담당하게 된다. - 나노센터는 반도체.디스플레이분야 차세대 장비.재료 개발의 핵심 연구기반이 될 전망임. 가장 먼저 서비스를 개시하는 포항센터는 극자외선 노광기술(EUVL)을 이용한 차세대 반도체 소재, 플렉서블 디스플레이(OLED 등) 핵심 재료 개발에 주력하고, 국내 유일의 가속기연구소와 연계하여 국내 최초로 20나노 이하 차세대 반도체 핵심 재료.공정을 개발할 것임. - 나노센터는 장비.재료기업에서 개발한 차세대 원천기술의 상용화를 지원하게 됨. 9월부터 시작되는 '장비.재료 원천기술 상용화 사업'과 연계하여 향후 나노센터는 신기술 상용화의 핵심 연구인프라가 될 것임. 우선적으로 포항센터는 2개 재료기업과 공동으로 '디스플레이용 광학필름 소재' 상용화를 추진할 계획임. - 나노센터는 국산 장비.재료에 대한 기초 성능평가.인증, 중장기적으로 표준화 사업을 추진함. 지난해 산자부와 반도체.디스플레이 업계간 상생협약('06.11) 이후 시행하는 '성능 평가팹' 사업 확대시 중요한 평가.인증 기반이 될 전망임. 포항센터는 향후 장비.재료 신기술분야 세계시장 선점을 위한 '신소재 측정.분석 표준화'를 추진함. - 5월 30일 산자부와 포스텍은 김영주 산자부 장관, 이원성 삼성전자 부사장, 박성욱 하이닉스 부사장 및 장비.재료업계 CEO, 김관용 경상북도지사, 이구택 포스텍 이사장, 박찬모 포스텍 총장 등 주요 관계인사 300여명이 참석한 가운데 '포항 나노기술집적센터 개소식'을 개최하였음. - 반도체.디스플레이 핵심장비 개발을 담당할 광주.전북센터는 각각 9월, 내년 상반기 개소할 예정이며, 전북센터는 반도체.디스플레이용 패터닝 장비, 광주센터는 증착 및 확산 장비 개발에 주력하게 됨.
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