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정책자료

첨단 나노기술이 차세대 공정.장비 국산화를 앞당긴다
산업자원부 미래생활산업본부 반도체디스플레이팀 2007.09.05 7p 보도자료

반도체, 디스플레이 장비.재료 분야 차세대 기술개발을 위한 대형 R&D 인프라인 광주 나노기술집적센터가 포항센터에 이어 서비스를 시작한다. 산업자원부가 광주.포항.전북 등 3곳에 구축중인 나노센터는 반도체, 디스플레이 장비.재료의 차세대 신기술 개발→상용화→성능평가.표준화를 패키지로 지원하는 핵심 나노기술 인프라 역할을 담당하게 된다. - 이번에 개소하는 광주센터는 반도체.디스플레이 분야에 필요한 나노 장비 및 공정을 연구개발부터 산업화 지원까지 가능한 핵심연구기반이 될 전망임. 반도체.디스플레이 관련 나노 박막/확산 공정기술 및 장비개발에 주력하여 '15년 장비분야 국산화율 50% 달성에 크게 기여하게 됨. - 나노센터는 장비.재료기업에서 개발한 차세대 원천기술의 상용화를 지원하게 됨. 9월부터 시작되는 '장비.재료 원천기술 상용화 사업'과 연계하여 향후 나노센터는 신기술 상용화의 핵심 연구인프라가 될 것임. 우선적으로 광주센터는 2개 장비제조기업과 공동으로 차세대 태양전지 제작을 위한 증착장비인 CVD 장비개발과 광부품 제작을 위한 BPSG(Boron Phosphorus Silicate Glass)용 CVD 공정 개발을 추진할 계획임. - 나노센터는 국산 장비.재료에 대한 기초 성능평가.인증, 중장기적으로 표준화 사업을 추진함. 지난해 산업자원부와 반도체.디스플레이 업계간 상생협약('06.11) 이후 시행하고 있는 '성능 평가팹' 사업 확대시 중요한 평가.인증 기반이 될 전망임. - 광주센터는 지난해 반도체.디스플레이 업계가 합의한 3대 상생과제(원천기술상용화사업, 평가팹, 수급기업펀드), 금년에 새로 시작한 디스플레이 분야 대기업간 협력을 기술적으로 실현할 'R&D 분야 상생협력의 장'이 될 것임. 최첨단 장비와 고급 기술인력을 바탕으로 차세대 신기술 개발을 위해 대기업과 중소 장비.재료기업이 참여하는 '공동 R&D'의 핵심적 연구거점이 될 것임. - 9월 4일 산자부와 한국생산기술연구원은 김용근 산자부 산업정책본부장, 소자.장비업계 CEO, 박광태 광주광역시장, 이호일 산업기술연구회 이사장 등 주요 관계인사 200여명이 참석한 가운데 '광주 나노기술집적센터 개소식'을 개최하였음. 광주센터 개소식과 병행하여 차세대 디스플레이 전략기술 및 상생협력 방안을 모색하기 위해 대기업, 장비업계, 학계 등이 참여하는 차세대 디스플레이 포럼을 개최했음.

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